等离子清洗机清洗效果不好，可以尝试从这几个方面找原因
文章出处：等离子清洗机厂家 | 快盈47| 发表时间：2022-04-14
影响等离子清洗效果的因素有很多，其中最主要的是电源功率频率、工作压强、工作气体种类以及清洗的时间。一般来说，等离子清洗机生产出来，可以调节的工艺参数只有这几个，如果等离子清洗效果不好可以从这几个方面找找原因，下面是关于这些工艺参数的一些说明，有助于更好的理解这些参数与等离子清洗效果的关系。
工作气体：工艺气体的选择决定等离子清洗机制(物理、化学或物理/化学)。其中反应性气体以氢气和氧气等为主。氢气放电会产生氢离子，利用氢离子的还原反应，可以与基片表面的氧化污染物发生氧化还原反应生成气态的水分子；同样利用氧气放电产生的氧离子的氧化反应，可以与基片表面的有机污染物发生氧化还原反应生成气态水分子和二氧化碳。另一类是非反应性气体，主要包括氦气、氩气和氮气等稀有气体，利用稀有气体可以定向的提升金属某一方面的物理性质，例如氮气可以提离材料的硬度和耐磨性。利用氩气或氦气可以增大等离子体的密度提高清洗的效率，同时因为是稀有气体可以防止清洗之后的气体再次被氧化，其主要是利用氩气和氦气相对稳定的性质，同时其放电气压比较低，更容易形成等离子体而轰击金属表面使污染物脱落被真空泵排出；如果在氩气和氦气等离子体中掺入适量的氧气和氢气等，反应性气体分子可以与高能亚稳态原子碰撞发生电荷的转换和再结合，降低了电离和活化氧和氢的电压和能量，从而产生更多的活性粒子，但掺入氢气时要注意控制氢气质量比以防止爆炸。
功率:增加等离子体功率是通过增加等离子内的离子密度和离子能量来增加清洁速度和清洁强度。可是,如果增加功率太多,可能对基板有害,并且对结果也是无效。
时间:一般来说要在最短的工艺时间达到最佳清洗效果,是工艺时间与功率、压力和气体类型平衡。功率的设置主要要与处理时间相平衡,增加功率可以降低处理时间,然而,会使仓体内温度升高。对于许多处理工艺来说,较高的温度相当于催化剂,并且会导致不均匀或刻蚀过度。所以要想优化处理工艺,综合考虑这两个参数是必须的。
等离子清洗的效果会随着功率的增大而变好;工作压强的选择要根据清洗的基片进行合理选用，当以物理作用为主时应减小压力以增大离子能量，当以化学作用为主时要增大一些压力，保证反应气体浓度，清洗时间也要保证清洗效果的同时减小能耗。
等离子清洗时间、电源功率和气体流量。合理地改变并组合这3个工艺参数可以获得良好的清洗效果,但盲目地改变和组合会造成时间、工作量和实验经费的浪费。如果这三个工艺参数都调整了还是无法获得更好的清洗效果，可以考虑更换等离子清洗机的工作频率，从射频，中频，微波这三种频率中挑选一种更合适的。其他的如果你购买的是大气常压等离子清洗机发现清洗效果不好，可以尝试使用真空等离子清洗机来进行实验。
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