Plasma等离子清洗机的分类

文章出处：等离子清洗机厂家 | 快盈47| 发表时间：2023-12-14

等离子体（plasma）英译过来的含义是电浆，因为它是一种含有自由电子、激发态粒子、亚稳态粒子、基态粒子、离子和自由基的电离的导电气体。当物质温度升高或受到高能粒子轰击、激光照射、强电磁场电离等时，核外电子脱离原子核束缚，形成由电子、离子、受激原子、分子、中性自由基组成的物质状态，这种电离物质整体上保持电中性，称为等离子体。

Plasma等离子清洗机的分类

根据等离子体产生的真空度，可以分为大气压等离子体和低气压等离子体，所以plasma等离子清洗机常见的又分为两类，大气plasma等离子清洗机，低气压plasma等离子清洗机。

低气压plasma等离子清洗机又分为：例如容性耦合等离子体(CCP)等离子清洗机，感性耦合等离子体(ICP)等离子清洗机，它们一般需要金属容器反应器并接入机械泵和分子泵抽真空，因此相比于大气压等离子体，产生条件更为苛刻，经济成本较高。但是，低气压等离子体中电子的平均自由程比大气压等离子体电子平均自由程小很多，导致等离子体电离程度更高。

大气压plasma等离子清洗机则是在常压环境（1atm,101.325kPa）下产生的等离子体，在常压环境下，因为粒子密度大，电子的平均自由程相对较短，阻碍了电子获得更高的能量。因此，在大气压下形成的等离子体与在低气压下形成的等离子体相比，需要的击穿场强会大得多。但大气压等离子体不需要复杂且昂贵的真空系统作为辅助设备，降低了反应装置的成本和工艺的复杂性，提高了表面处理效率，是一种具有工业应用前景的气体放电方法。

传统工业中的等离子体应用主要以低气压等离子体为主（如表面改性，刻蚀等），因为与高气压相比，低气压下电子的平均自由程更大，电子更容易在电场中加速获得更高的能量，所以等离子体在低气压下更容易产生，也更稳定，但是需要复杂且昂贵的真空辅助设备。

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